北京无机预涂板
洁净车间的净化空调系统根据大气含尘浓度、大气中各种污染物浓度和产品生产工艺特点及要求配置各类空气过滤器-粗效、中效、高中效、亚高效和高效、超高效以及化学过滤器等。具体洁净车间设计中净化空调系统的空气过滤器的配置和选用应根据洁净室的空气洁净度等级和产品,生产工艺的特殊要求合理配管和选用。对于6级和比6级洁净度差的洁净室的净化空调系统通常采用三级空气过滤,即粗效、中效和高效过滤器;粗效、中效(或中高效)过滤器,通常设在空气处理装置(AHU)内,且将中效或中高效设在正压段:高效或亚高效过滤器一般设在洁净室内净化空调系统的末端,也有将高效过滤器集中设在集中的空气处理装置(AHU)内,但此时,应对送风管道提出严格的清洁要求,以避免净化后的空气被污染。
空气过滤器的额定风量是过滤器在一定的滤速下,过滤器效率和阻力合理选择时的风量;所以在确定空气过滤器型号规格时,一般应按小于或等于额定风量选用。有时在具体洁净车间设计中经过技术经济比较和实际可能,常常小于额定风量选用过滤器,使阻力降低,可使净化空调系统的运行能量消耗下降,若采用模压法制作过滤器可将过滤器阻力进一步降低,有利于降低净化空调系统的能耗。
对于5级(100级)和更严格的实验室净化的净化空调系统中空气过滤器的配置,应根据洁净车间设计方案及采用的净化空调系统的要求配置各类过滤器,比如有的集成电路生产用4级(0.1um)和更严要求的洁净室采用新风集中处理,为了严格去除大气中的微粒和各种污染物,通常在新风处理装置中设置粗效、中效(中高效)、亚高效甚至高效过滤器和化学过滤器或水喷淋装置等;在洁净室的循环风系统还设有高效、超高效和化学过滤器等。